MEMSタイプ半導体式
ガスセンサの開発に成功
発明以来、半導体式ガスセンサは小型化・低消費電力化を常に求められてきました。フィガロ技研は、マイクロビーズタイプなど様々なセンサプラットフォームを考案することにより、それらを実現してきました。2014年、フィガロ技研は新たなセンサプラットフォームとなる、MEMSタイプのガスセンサの開発に成功しました。このMEMSタイプの半導体式ガスセンサは、モバイル機器や電池駆動製品への搭載ニーズに対応し、更なる小型化・低消費電力化への弾みとなります。