半導体式ガスセンサ/ガスセンサのリーディングカンパニーフィガロ技研

ガスセンサ技術で、世界をよりよく


半導体式ガスセンサ
低濃度検知の限界へ

最も低濃度を計測できる
「半導体式」

半導体式ガスセンサがもつ大きな特長のひとつに、低濃度のガスを検知できる性能があげられます。 
また、製造時の素子成分を変えることにより、さまざまなガスに対応できるガスセンサが生産できるという大きな可能性も秘めています。

ガス感度の比較

低濃度検知がつくる新たな用途

半導体式ガスセンサは、接触燃焼式ガスセンサや電気化学式ガスセンサでは計測することができない、ppbオーダーの低濃度ガスを検知することができます。これは悪臭やVOCなどの検知に欠かせない性能です。フィガロ技研では半導体式ガスセンサ自体の製造に加え、より低濃度のガス検知という分野にも挑んでおり、半導体式ガスセンサにガス濃縮技術とガスクロ技術を融合させたガスクロマトグラフを完成させました。小型軽量化されたこの機器は、今まで困難だった現場での計測にも役立っています。

半導体式ガスセンサの可能性

フィガロの濃縮技術で実現した 
超低濃度の検知

半導体式ガスセンサは、かなり低濃度のガスを検知することが可能ですが、より低濃度のガスを計測したいというニーズから、ガスクロマトグラフの生産に着手。吸入したガスをさらに濃縮化する技術を開発することによって、ppbという単位までの計測が可能になりました。このガスクロは小型で持ち運べるため、住宅内のVOC検知や工場内の環境汚染度の計測など、現場での計測が可能で高い評価を獲得しています。

価格メリット

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量産技術

半導体式ガスセンサのメリットとされるのが、コストと量産化です。フィガロ技研では、その点に着目し量産化技術の開発に力を注いできました。それが厚膜印刷の技術を応用した生産法で、セラミックベースの上にセンサ素子成分を塗布してから焼成を繰り返し、それを分割することによりチップを量産化するという製造方法を確立しています。この製造方法では、一度に多くのセンサチップを安定的に量産できること、手作業のように品質にバラつきがないこと、生産コストを低く抑えること、など多くのメリットを生んでいます。

安全・快適から健康・医療の分野へも 
よりよい社会づくりへの取り組み

半導体式ガスセンサは、ガス漏れ警報器や一酸化炭素の検知といった一般的な使い方からガスクロマトグラフなどの高精度検知機、アルコール検知器まで幅広い用途と対応力で、活用の場を広げてきました。これからもこの動きは続くと思われ、口臭や体臭などの臭いを検出して健康維持に役立てたり、医療の分野でも病気の早期発見や特定の疾病を感知するといった技術開発が急がれており、その可能性は拡大の一途をたどっています。

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